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Pfeiffer氦質譜檢漏儀ASM340D用于長晶爐設備檢漏

來源:伯東企業(上海)有限公司      分類:行業標準 2021-05-20 10:56:07 309閱讀次數
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浙江某 CVD 人造鉆石制造商采用伯東 Pfeiffer  氦質譜檢漏儀 ASM340  對其 CVD 鉆石生產設備長晶爐檢漏, 客戶采用負壓法對 Seki 長晶爐設備真空腔和氣體供應系統進行檢漏, 經過泄漏檢測, 生產的人造鉆石可以匹配甚至超過天然鉆石的質量和特性!


氦質譜檢漏儀 ASM340 技術參數:

型號

ASM340

ASM340 D

ASM340 I

對氦氣的Z小檢檢漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍mo式

真空模式和吸槍mo式

真空模式和吸槍mo式

檢測氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

啟動時間 min

3

3

3

對氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進氣口Zda壓力 hPa

25

25

5

前級泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級泵

重量 kg

56

45

32

 

氦質譜檢漏儀 ASM340 優點:

1. 前級泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的Z小檢檢漏率:

   真空模式:5E-13 Pa m3/s

   吸槍mo式:5E-10 Pa m3/s 目前業界公認Z小漏率

4. 移動式操作面板(有線、無線)

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風險性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等

8. 檢測時間短

 

待檢漏產品:

氦質譜檢漏儀 CVD 鉆石長晶爐檢漏

 

長晶爐設備需要檢漏:

在 CVD 過程中, 將一片薄的金剛石種子 ( 通常是天然的金剛石) 放置在密封室中, 加熱到 800攝氏度左右. 然后通入富碳氣體 ( 通常是甲烷 ) 和其他氣體. 如果密封室或者氣體供應系統有漏, 直接影響原子沉積, 導致無法形成鉆石或質量不佳.

 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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最近更新:2024-09-05 09:08:13
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