伯東氦質譜檢漏儀 ASM390 用于不銹鋼管檢漏
某專門生產半導體配件公司采用移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390 對高端不銹鋼管, 閥門和歧管等配件進行檢漏, 以驗收管件是否達標. 其產品漏率值需要達到 10-9mar l/s.
伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜測漏儀 ASM390 技術參數:
型號 | ASM390 |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 |
Z小檢測漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
對氦氣的抽速 | 10 l/s |
前級泵抽速 | 35 m3/h |
進氣口Z/大壓力 | 20 mbar |
無校準的啟動時間(20°C) | 2 min |
進氣口 | DN 40 ISO-KF |
響應時間 | < 1 s |
Interface, 選配 | RS-232, I/O, Ethernet |
噪音 | ≤ 55 dB (A) |
重量 | 125 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm |
待檢漏產品:
半導體配件-不銹鋼管檢漏方法工作示意圖如下：
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 完全符合 Semi S2 標準
若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :
上海伯東 : 羅先生 臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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