陰極發(fā)光是固體物質(zhì)的一種表面物理熒光現(xiàn)象，在掃描電鏡中，當(dāng)一束高能電子束轟擊固體樣品的表面時(shí)，入射電子與樣品發(fā)生作用，產(chǎn)生諸如二次電子、背散射電子、特征X射線、俄歇電子等信號(hào)，而對(duì)于某些特定材料，如礦物、氧化鋁、三/五族材料（GaAs，InGaN）、磷光劑、燃料及一些有機(jī)化合物等，入射電子會(huì)將材料的電子轟擊至導(dǎo)帶讓其處于激發(fā)態(tài)，受轟擊電子會(huì)快速回復(fù)至價(jià)帶，回復(fù)過(guò)程中產(chǎn)生的能量差就以可見(jiàn)光的形式釋放出來(lái)，即陰極發(fā)光，陰極發(fā)光是一種熒光，又稱(chēng)陰極熒光，其發(fā)光波譜多數(shù)為可見(jiàn)光范疇，波長(zhǎng)多數(shù)在400~760nm之間。陰極熒光的發(fā)生是由于物質(zhì)中有雜質(zhì)元素的存在或晶體結(jié)構(gòu)中如位錯(cuò)、空位和偏離化學(xué)計(jì)量比、結(jié)晶體中的無(wú)序、晶格破壞等缺陷的存在。

利用專(zhuān)用陰極熒光探測(cè)器（CL探測(cè)器）采集陰極熒光（CL）數(shù)據(jù)，在地質(zhì)、光電、失效分析、陶瓷、玻璃及其他領(lǐng)域，揭示樣品中利用常規(guī)電子信號(hào)或X射線成像技術(shù)無(wú)法顯示的特性。將CL數(shù)據(jù)與形貌、晶體結(jié)構(gòu)和元素信息相關(guān)聯(lián)，可以更好地了解樣品的光子特性、組成、材料質(zhì)量或是歷史。

傳統(tǒng)CL探測(cè)器依賴(lài)樣品與物鏡之間的反光鏡，為了有效檢測(cè)熒光信號(hào)，反光鏡需要在大的（固定的）工作距離下精確對(duì)中。這種設(shè)計(jì)限制了掃描電鏡的視野寬度，也限制甚至阻止了電子和X射線的檢測(cè)，需要將CL探測(cè)器退出再次掃描樣品才能獲取此類(lèi)信號(hào)。

賽默飛新型RGB CL探測(cè)器采用平面式設(shè)計(jì)，消除了反光鏡的諸多限制，與伸縮式背散射電子探測(cè)器類(lèi)似，可在樣品和物鏡之間滑動(dòng)。探測(cè)器面積大，無(wú)需進(jìn)行光學(xué)對(duì)中，且不影響視野寬度。CL探測(cè)器采集信號(hào)的同時(shí)，不影響二次電子（SE）、背散射電子（BSE）、X射線信號(hào)等的采集，這樣，對(duì)樣品掃描一次，就可將CL數(shù)據(jù)與SE、BSE和 EDS多重信號(hào)關(guān)聯(lián)起來(lái)。

RGB CL探測(cè)器集成在電鏡用戶界面中，電子束開(kāi)始掃描即可獲取彩色圖像，助力多用戶實(shí)驗(yàn)室，獲得CL數(shù)據(jù)，并與多種數(shù)據(jù)進(jìn)行無(wú)憂關(guān)聯(lián)。