InTouchScope? 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 JSM-IT700HR 發(fā)布

—日常使用的SEM、好用—

日本電子株式會(huì)社(代表取締役社長(zhǎng)兼COO 大井　泉)宣布：高通量新型掃描電子顯微鏡JSM-IT700HR于2020年8月開始全球銷售。

【開發(fā)背景】

掃描電子顯微鏡廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、醫(yī)學(xué)和生物學(xué)等領(lǐng)域，從基礎(chǔ)研究到工廠的品質(zhì)管理等用途也在不斷地?cái)U(kuò)展。不僅以研究為目的，快速高清晰圖像的數(shù)據(jù)采集和更簡(jiǎn)便的元素分析的需求很高。 隨著技術(shù)的不斷創(chuàng)新，觀察的樣品也越來(lái)越小，微小樣品的測(cè)定已經(jīng)常態(tài)化。 基于此，浸沒(méi)式熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡InTouchScope?系列 JSM-IT700HR誕生了。

該設(shè)備最高分辨率1nm、最大探針電流300nA（是之前的15倍），可提供豐富的觀測(cè)和分析信息。 用戶界面操作簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)緊湊，配備大樣品室和更好的防震臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了從【能見(jiàn)】-【易見(jiàn)】的轉(zhuǎn)變。 在操作導(dǎo)航GUI里增加了【信號(hào)深度顯示】功能，實(shí)時(shí)了解在測(cè)樣品的分析深度（參考），有效用于元素分析中。

該機(jī)種有低真空觀察型JSM-IT700HR/LV和低真空觀察分析型 JSM-IT700HR/LA兩種型號(hào)。

【主要特點(diǎn)】

1.   浸沒(méi)式熱場(chǎng)發(fā)射電子槍，可實(shí)現(xiàn)高清晰圖像觀察和高空間分辨率分析

2.   Zeromag功能，可實(shí)現(xiàn)快速的視野搜索

3.   Live Analysis功能，實(shí)現(xiàn)高效元素分析

4.   信號(hào)深度顯示功能，可實(shí)時(shí)了解樣品的分析深度

5.   SMILE VIEWTM Lab，易于生成從觀察到分析的所有數(shù)據(jù)報(bào)告

6.   樣品更換導(dǎo)航使樣品更換更安全簡(jiǎn)便

7.   電子束自動(dòng)對(duì)中可使電子光學(xué)條件維持最 佳狀態(tài)

8.   大開門樣品室可對(duì)應(yīng)各種形狀和大小的樣品觀察和分析

日常使用的SEM，好用！

隨著技術(shù)的不斷創(chuàng)新，觀察的樣品也越來(lái)越小，微小樣品的測(cè)定已經(jīng)常態(tài)化。 基于此，浸沒(méi)式熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡InTouchScope?系列 JSM-IT700HR誕生了。

該設(shè)備最高分辨率1nm、最大探針電流300nA（之前的15倍），可提供豐富的觀測(cè)和分析信息，用戶界面操作簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)緊湊、配備大樣品室。

■  Zeromag & Autofunctions

      放大光學(xué)圖像，無(wú)縫過(guò)渡到SEM圖像

Zeromag具有將樣品臺(tái)圖像、光學(xué)像和SEM像聯(lián)動(dòng)的功能，樣品臺(tái)上有多個(gè)樣品和觀察特定區(qū)域時(shí)，很容易搜尋視野。

※若顯示光學(xué)像，需要選件樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)SNS

■  Integrated EDS & Live Analysis

      一體化EDS和實(shí)時(shí)分析

SEM操作界面上有EDS分析操作，觀察分析無(wú)障礙。Live Analysis具有實(shí)時(shí)顯示特征X線譜圖功能。

■  SMILE VIEW? Lab

      快速生成數(shù)據(jù)報(bào)告

JEOL獨(dú)有的數(shù)據(jù)管理工具。 光學(xué)像、SEM像、EDS分析結(jié)果一并保存。報(bào)告書一鍵生成。

也可以離線解析※1。

※1　需要離線分析軟件   ※2　需要安裝Microsoft?Office

■  信號(hào)深度顯示

在操作導(dǎo)航GUI里增加了【信號(hào)深度顯示】功能，實(shí)時(shí)了解在測(cè)樣品的分析深度（參考），有效用于元素分析中。

■  自動(dòng)電子束對(duì)中 (ABA)

電子束的軸偏離時(shí)，自動(dòng)調(diào)整對(duì)中功能

■  用蒙太奇功能進(jìn)行廣域觀察與分析

蒙太奇結(jié)果 6x6（左：背散射電子像、右：Cu元素map像 ）

樣品：黃銅螺釘?shù)钠矫婵涛g橫截面*、 加速電壓：20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像：6.4 mm × 4.8 mm

*機(jī)械研磨后、用IB-19530CP進(jìn)行平面刻蝕加工

蒙太奇就是一種拼接功能，能夠?qū)V域內(nèi)采集到的所有圖像拼接成一個(gè)高清圖像。

此功能對(duì)于獲取大面積詳細(xì)信息非常有用。