電子光學儀器

由電子光學系統和其他機電系統構成的，應用電子光學原理達到觀察、分析等目的的儀器。是一種直接觀察研究物質微觀形貌，成份和結構與其宏觀性能（功能）之間關系的一類大型精密儀器。在材料科學、納米科學技術、生命科學技術、物理、化學、醫學、微電子學、半導體大規模集成電路制造等科技領域以及臨床診斷、刑事偵破、考古和工農業生產中得到了廣泛的應用。