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多功能高級(jí)磁控濺射噴金儀—nanoEM
- 品牌：Moorfield
- 型號(hào)： nanoEM
- 產(chǎn)地：歐洲 英國(guó)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易（北京）有限公司
更新時(shí)間：2025-04-14 15:13:31 -
銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第10年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品樣品制備(54件)
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詳細(xì)介紹
多功能高級(jí)磁控濺射噴金儀—nanoEM
nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種專(zhuān)用樣品臺(tái)，滿(mǎn)足各種高精度的噴金或電極生長(zhǎng)需求。除了濺射金屬電極外，nanoEM還具有極大的拓展空間，雖然作為臺(tái)式設(shè)備，nanoEM配備了輸出功率可達(dá)300W的濺射源，系統(tǒng)還可選擇樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動(dòng)壓強(qiáng)控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿(mǎn)足學(xué)術(shù)研究的多種樣品生長(zhǎng)需求，可升級(jí)成為一臺(tái)多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實(shí)驗(yàn)室的青睞。
主要特點(diǎn)：
◎ 能夠達(dá)到學(xué)術(shù)研究級(jí)的多功能?chē)娊饍x
◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種專(zhuān)用樣品臺(tái)可選
◎ 可安裝兩個(gè)2英寸濺射源
◎ 通用的濺射靶材
◎ 本底真空<5×10-7 mbar
◎ 流量計(jì)控制生長(zhǎng)氣氛
◎ 可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達(dá)300W
◎ 全自動(dòng)，引導(dǎo)式觸屏控制
◎ 完備的安全性設(shè)計(jì)
◎ 易于維護(hù)
◎ 兼容超凈室
◎ 穩(wěn)定的性能表現(xiàn)
系統(tǒng)選件：
◎ 腔體視窗
◎ 真空泵型號(hào)可選
◎ 氣壓全自動(dòng)控制系統(tǒng)
◎ 濺射源擋板
◎ 等離子體輝光電極
◎ 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)與傾斜
◎ 晶振膜厚監(jiān)測(cè)系
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