加拿大Johnsen Ultravac Inc.（JUV）公司成立于1961，以其優異的性能與表現在全球范圍內贏得了良好的聲譽，被譽為超高真空領域設備制造商中的“奧德賽”！多年來，JUV一直保持著極高標準，成功地將用戶的要求轉化為高 級的科研設備，同時也為科研、商業及工業等領域輸出了大量的精密超高真空儀器。 

 

JUV公司的核心是設計并制造超高真空腔體和系統，并已經成為全球超高真空產品的ding級供應商！從粒子加速線組件到超高真空線性傳輸設備、XYZ操作臺和真空系統，都沉淀和蘊含了JUV公司豐富的經驗和精確的設計加工能力。無論是用戶定制產品，還是標準化的模塊產品，JUV公司始終將了解客戶的需要、回應他們提出的苛刻要求放在首位！

  JUV提供了適用范圍廣泛的前端和例子加速線組件，可以滿足不同的應用，包括：

真空系統
 

  該系統由不銹鋼支架和不銹鋼雙層水冷腔體組成，配備有：等離子體炬（Plasma Torch）、射頻電源產生器（RF Power Generator）、配套的線路、襯底控制臺、泵、離子規、過程控制系統等。

?  射頻或直流電感耦合等離子炬（RF/DC-ICP Torch）安裝在腔體的。等離子體通過混合氣體，經電弧點燃而產生。

?  沉積源一般為粉末或者液體，利用等離子體噴射引入到墻體中。當使用液體的時候，會形成納米結構的鍍層或沉積層，且成分變化較大。

?  襯底的操作是利用6軸樣品臺進行的，樣品可以進行高速旋轉，加熱的溫度可達600℃。

?  混合氣體由一個氣體配給系統提供，它可以同時混合四種氣體，并配有流速控制單元、MFC 電源、LCD顯示器、輸氣凈化閥門和各種不銹鋼氣路接口。

?  整個腔體由一個干泵和旋轉增壓泵組成，并配備了水冷前級吸收裝置、空氣過濾器、節流閥等。真空度由電容壓力表和Pirani/壓力傳感器測得。

?  計算機中加載的PLC/PC真空過程自動控制系統可以對泵氣和等離子體沉積過程進行監控，操作簡單。在生長過程中，過程保護鎖可以保證用戶在使用過程中，不會出現意外情況。

  該系統采用模塊化理念進行設計與生產的，完全能夠滿足用戶日后的升級需要。

該系統采用2-真空腔設計，一鍵式操作，同時配有多個電子束蒸發源。存放有襯底的旋轉木馬位于主真空腔上方的快速進樣室中，通過閥門與主真空腔隔開。在對快速進樣室抽完真空后，打開閥門，即可將襯底對準電子束蒸發源。蒸鍍完成后，關閉閥門，將快速進樣室放氣，即可取出樣品，而主真空腔仍然保持較好的真空。

特點： ?  自動抽氣和放氣； ?  系統狀態液晶顯示面板； ?  從大氣進入超高真空僅用時30分鐘； ?  馬達驅動的多樣品旋轉木馬； ?  直徑3 inch樣品的均勻度好于±0.25%； ?  設備結構緊湊，操作方便，維護簡單。

 

 3、電子回旋共振/電感耦合等離子體系統（ECR/ICP System）

  該系統包括一個外徑為10’’的圓柱形真空腔體，配有：分子泵、真空閥門、兩個樣品操作臺、帶開閉器的高純藍寶石觀察窗、靶架（Target Holder）和襯底架。用戶可以任意選擇六個靶中的其中一個，將其沉積到直徑為2-3’’的圓形襯底上。在激光沉積過程中，襯底可以進行加熱。襯底通過快速進樣室引入到主真空腔中。系統的真空度好于2×10-10Torr。

5、濺射系統（Sputtering System）


6、分子束外延真空系統（MBE Vacuum System）
 

  分子外延系統包括了一個直徑為24’’的多端口真空腔，內部配有LN2屏蔽罩，多可以裝載8個蒸發源。腔體的端口可以選配：觀察窗、閥門、蒸發速率監控裝置、RGA、RHEED、樣品臺、泵、真空規、傳樣桿等等。真空腔放置在一個不銹鋼支架上，配有19’’電子單元安放支架和電源配給面板。真空腔體內部配備的加熱器可以是整個腔體加熱到250℃。

操作臺

操作臺-8axis

 

  XY樣品臺可以作為獨立的單元或者與線性移動裝置聯合使用。XYZ樣品臺使用不銹鋼焊接，可以在10-10Torr真空中使用。針對不同使用條件的要求，我們可以提供：

X&Y移動范圍	±0.50’’---±4.00’’	可加熱溫度	1200℃
波紋管內徑	1.39’’---12.00’’	LN制冷溫度	-160℃
基座法蘭外徑	2.75’’---14.00’’	LHe制冷溫度	10K
極坐標旋轉	360度	襯底基片尺寸	≤300mm
方位角旋轉	±180度	承載重量	225kg （4000系列產品）
傾斜	±30度

   

  我們提供了應用到各種條件下的線性移動裝置

 

  Johnsen Ultravac公司的超高真空腔有很多種配置，可以提供適合用戶各種特殊要求和性能的腔體。

  Johnsen Ultravac公司生產的超高真空腔體性能優異。在腔體的制造過程中，JUV的工程師們特別重視消除任何可能的漏氣現象，腔體的真空度都能好于10-11Torr。每一個端口都經過精心的校準，確保它們能夠準確的裝載各種配件。在進行切削加工時，特別注意避免腔體遭到各種材料的污染；在完成切削后，所有的部分會被仔細清洗，并在超凈間中進行焊接； 后，在完成端口位置的再一次確認后，超高真空腔體才會進行 后的清理與包裝。