STACIS?4是*先jin的主動隔振系統。它裝有慣性振動傳感器，配合精zhun的控制算法與先進的壓電作動器。STACIS 4可實時偵測地面振動，再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻消chu地面振動。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術基礎上，該技術被quan球十大半導體制造商中的九家所使用。

起初STACIS是為半導體工廠的精密光刻機，計量儀和檢測設備而設計，如今是嘈雜環境中*敏感儀器的行業標準隔振解決方案，包括但不限于故障分析，納米技術研究，納米制造，結構生物學和材料研究等應用。

STACIS 4包括*新改進的，低噪聲的數字控制器，DC-2020帶有雙核處理器。這種新的先進的控制系統為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI)。

STACIS 4建立在前幾代的成功架構上，增加了先進的控制算法和新的zhuan利技術。以前無法實現對建筑物地面所有頻率的振動xiao除，但特別是10Hz以下的振動，對高分辨率成像和計量來說是*敏感的。當與FloorSenseTM專li技術相結合時，STACIS4在2Hz時可減少60dB的建筑物地面振動，在1Hz時可減少27dB。

產品優勢

● STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅固可靠，且不存在氣浮隔振系統離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動的氣浮系統不同。STACIS 4可以放置在具有內部主動空氣隔離系統的設備下面，且兩個隔振系統相互兼容。

● 串聯設計和專有的壓電技術所產生0.2Hz至150 Hz的寬帶的隔離，在2Hz時可減少99.9%的振動。

● 比STACIS III更hao的振動控制，與行業標準解決方案相比，STACIS4將2 Hz的振動控制提高了60 dB以上。

● 穩定的串聯設計允許使得您安裝后即可，無需再次安裝調試，不像并行式設計本質上是不穩定的，需要頻繁調整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允許兩級振動控制設計，可以在STACIS III系統之上結合被動或主動的平行平臺。隨著對儀器的振動分辨率的要求越來越高，兩級設計正變得越來越普遍。

● STACIS 4的性能相當于在穩定的地面上減少5個VC曲線的振動。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環境中安裝儀器，從而在設施布局和設計方面具有更大的適配性。

性能

在VC-C(500μin/s,12.5μm/sRMS)的模擬振動下測試4500磅(2045千克)有效載荷。

技術參數

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