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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

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詳細(xì)介紹

VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節(jié)約材料。VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
2、真空度可以達到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
5、電機采用24V直流無刷電機,可靠性高,適應(yīng)性強,維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。
7、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實耐用且質(zhì)輕。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。
9、全英文操作系統(tǒng)。
10、具有開蓋保護功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。

產(chǎn)品名稱 VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機
產(chǎn)品型號
VTC-100PA-I
安裝條
本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有進出水口
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:不需要
4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要
主要參數(shù)
1、電源:220V 50HZ
2、電機功率:350W/24V
3、速度范圍:500rpm-10000rpm
4、程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段,每段時間范圍:0—60s。
5、增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
6、本機可選配加熱功能:
1.VTC-100PA-II:RT-200℃的,整個腔體及吸盤都采用聚四氟乙烯材質(zhì),更耐高溫與腐蝕。
2.VTC-100PA-I:RT-100℃的,吸盤采用聚四氟乙烯材質(zhì),上蓋及水槽采用聚丙烯材質(zhì)
3.溫度使用獨立的控制器,與主機程序控制無關(guān)聯(lián)
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸:450mm×280mm×340mm;
重量:20kg

序號 名稱 數(shù)量 圖片鏈接
1

真空吸盤(含O型圈)

(?19mm和?60mm)

2個

2 中心定位器(含4個定位柱)
1個

3 滴膠注射器(20ml)
1個
4 注射器支架
1個
5 無油真空泵
1個
6 橡膠管(含卡箍)
1根

序號
名稱
功能類別
圖片鏈接
1 其它尺寸的真空吸盤
(可選)

2
國產(chǎn)移液槍
(可選)

3
進口移液槍
(可選)

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