皮米精度位移激光干涉儀

昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進行量測的理想儀器，基于其獨特的測量原理，相對距離的重復精度達到了前所未有的50皮米。quDIS可同時支持三個測量通道，使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準參考，通過激光波長調諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實現其它設備所不具有的JD距離測量，基于這種測量方式，使得quDIS相對其他產品測量距離可以達到20M的同時保持高精度，且與信號對比度和強度無關，由于使用整個干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實時信號中提取得到。

             獨特的法珀腔+飽和吸收氣室構造                               波長的線性變化的引入在此構造下使得JD距離的測量成為可能！

干涉傳感頭

       激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實現的，根據反射目標的不同，不同的應用都需要不同的準直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于光纖設計。quDIS為常規情況下的使用提供標準準直儀和定焦傳感頭，同時根據具體的需要以及惡劣環境下的應用，也設計了響應的特殊傳感頭。

 用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設計                                        

 鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數準

皮米精度位移激光干涉儀產品特點

•  多維度多通道位移干涉器，操作簡單，即插即用

•  相對距離和JD距離測量

•  完善的全套系統配置

•  實時輸出數字化圖像

•  針對不同應用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案

•  長期使用保證穩定性

•  兼容真空與各種惡劣環境

皮米精度位移激光干涉儀獨特優勢：

•  JD距離高精度測量！

•  不存在非線性及周期性誤差！

•  相對距離信號穩定性<0.05nm！

•  工作距離20m（與傳感頭相關）

•  目標速度1m/s

•  三個傳感接口，可實現多設備同步

•  探測器分辨率達到1pm

  
  

皮米精度位移激光干涉儀應用領域：

•   極限環境下振動分析

•   緩慢漂移及熱膨脹檢測

•   精密設備位置控制

•   納米級位移測量

•   層狀結構中間隙和邊緣的測量

•   位移和振動精度評估

皮米精度位置測量儀參數列表：