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韓國(guó)Nanoscope Systems 大面積高速3D激光掃描儀NS3500L
- 品牌:Nanoscope System
- 型號(hào): NS3500L
- 產(chǎn)地:亞洲 韓國(guó)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
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泰州新飛光電有限公司
更新時(shí)間:2024-09-04 15:05:50
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銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第5年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品NS3500 L(1件)
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- 韓國(guó)Nanoscope Systems 大面積高速3D激光掃描儀NS3500L 核心參數(shù)
產(chǎn)品特點(diǎn)
- NS-3500L 是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。
詳細(xì)介紹
NS3500L 大面積高速3D激光掃描儀
NS-3500L 是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。
Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):
高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測(cè)
實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像 無(wú)樣品準(zhǔn)備
自動(dòng)聚焦
Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):
NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。
可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如
-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測(cè),CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè),ITO圖案,LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池,太陽(yáng)能電池紋理,激光圖案
-材料研究:模具表面檢測(cè),粗糙度,裂紋分析
Specification(規(guī)格):
Model
Microscope NS-3500
備注
Controller NS-3500E
物鏡倍率
10x
20x
50x
100x
150x
觀察/ 測(cè)量范圍
水平 (H): μm
1400
700
280
140
93
垂直 (V): μm
1050
525
210
105
70
工作范圍: mm
16.5
3.1
0.54
0.3
0.2
數(shù)值孔徑(N.A.)
0.30
0.46
0.80
0.95
0.95
光學(xué)變焦
x1 to x6
總放大倍率
178x to 26700x
觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)
針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
高度測(cè)量
測(cè)量掃描范圍
精細(xì)掃描 : 400 μm (and/or) 長(zhǎng)掃描 : 10 mm [NS-3500-S]
長(zhǎng)掃描 : 10mm [NS-3500-T]
顯示分辨率
0.001 μm
重復(fù)率 σ
0.010 μm
注 1
寬度測(cè)量
顯示分辨率
0.001 μm
重復(fù)率 3σ
0.02 μm
注 2
幀記憶
像素
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
單色圖像
12 bit
彩色圖像
8-bit for RGB each
高度測(cè)量
16 bit
幀速率
表面掃描
20 Hz to 160 Hz
線掃描
~8 kHz
自動(dòng)功能
自動(dòng)增益
激光共焦測(cè)量光源
波長(zhǎng)
405nm
輸出
~2mW
激光等級(jí)
Class 3b
激光接收元件
PMT (光電倍增管)
光學(xué)觀察光源
燈
10W LED
光學(xué)觀察照相機(jī)
成像元件
1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器
記錄分辨率
640x480
自動(dòng)調(diào)整
增益, 快門(mén)速度, White balance
數(shù)據(jù)處理單元
PC
電源
電源電壓
100 to 240 VAC, 50/60 Hz
電流消耗
500 VA max.
重量
顯微鏡
Approx. ~50 kg
(Measuring head unit : ~12 kg)
控制器
~8 kg
注 1 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長(zhǎng)1μm)進(jìn)行100次測(cè)量
注 2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm間距)進(jìn)行100次測(cè)量。
激光波長(zhǎng) | 405nm | 激光功率 | 2 mW |
放大倍數(shù) | 10-150X | 水平分辨率 | 140nm |
Z軸分辨率 | 20nm |
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