Nanoscope Systems NS3600激光三維表面輪廓儀 

NS-3600是一款高速三維激光表面輪廓儀，可用于精確可靠的3維（3D）測量。 通過快速光學掃描模塊和信號處理算法可實現實時共聚焦顯微圖像。

這是測量和檢查微觀3D結構有前途的解決方案，例如半導體晶圓，FPD產品，MEMS器件，玻璃基板和材料表面。

Features & Benefits（性能及優勢）：

• 高分辨無損傷光學3D測量                             自動傾斜補償

• 實時共焦成像                                               簡單的數據分析模式

• 多種光學變焦                                               雙Z掃描

  大范圍拼接                                                  半透明基材的特征檢測

• 實時CCD明場和共聚焦成像                          無樣品準備

• 自動聚焦

  
  

Software (軟件）：

Application field（應用領域）：

NS-3600是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度，寬度，角度，面積和體積，例如

-半導體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝

- FPD產品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析