覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程（10 sccm 到 10 slm N2） 支持的氣體：無毒性的非腐蝕氣體 流量測量不確定度低至 ±0.013% 讀數 最大出口壓力：650 ...