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離子濺射儀

離子濺射儀

是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。離子濺射鍍膜要求試樣干燥清潔。為了使試樣表面清潔，必要時將試樣與陰極換位，利用火花放電清潔表面。然后試樣復原，再進行濺射鍍膜。常用的反應氣體為氧氣，常用的陰極材料有鐵、鎳、銅鉛等，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬。
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離子濺射儀
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