
激光刻蝕機
實際上狹義理解就是光刻腐蝕,先通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理,然后通過其它方式實現腐蝕處理掉所需除去的部分。廣義上來講,刻蝕成了通過溶液、反應離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種統稱,成為微加工制造的一種普適叫法。刻蝕最簡單最常用分類是:干法刻蝕和濕法刻蝕。它們的區別就在于濕法使用溶劑或溶液來進行刻蝕。
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