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產(chǎn)品中心

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手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10B

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產(chǎn)品特點(diǎn)

國(guó)產(chǎn)手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10B,穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量,采用金剛石探針,無畸變的觀察樣品區(qū),實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域

詳細(xì)介紹

? 產(chǎn)品介紹:

澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國(guó)產(chǎn)高精度表面測(cè)量設(shè)備的代表,憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場(chǎng)景及可靠的測(cè)量性能,可以對(duì)微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺(tái)階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量,在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

JS系列臺(tái)階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào),結(jié)合高靈敏度傳感器與信號(hào)處理算法,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng),通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力,既避免了對(duì)軟質(zhì)材料的損傷,又確保了測(cè)量過程的穩(wěn)定性。此外,設(shè)備搭載的攝像頭實(shí)時(shí)成像系統(tǒng),可同步觀察樣品區(qū)域與探針尖端的位置關(guān)系,輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu),顯著提升測(cè)量效率。

作為國(guó)產(chǎn)科學(xué)儀器的突破性成果,JS系列臺(tái)階儀打破了國(guó)外品牌在高端表面測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域的長(zhǎng)期壟斷,憑借高性價(jià)比與本地化服務(wù)優(yōu)勢(shì),成為國(guó)內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。

? 特點(diǎn):

量測(cè)精確、操作便捷、體積小巧、超高性價(jià)比

? 應(yīng)用范圍:

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測(cè)量

? 系統(tǒng)組成

▲ 臺(tái)階儀主機(jī)

▲ 電腦及顯示器

? 選配品

▲ 隔振臺(tái)

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

? 技術(shù)參數(shù)

JS10B

樣品

單片(厚度≤10mm)

樣品尺寸

≤150mm

樣品材質(zhì)

硅、鉭酸鋰、玻璃等(不透明,半透明)

重復(fù)性測(cè)量偏差

≤0.5nm(1σ 1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次)

最大測(cè)量范圍

80um

垂直分辨率

0.05nm 滿量程

探針加力范圍

0.5~50mg

力控制

恒定

采樣速度

200Hz

掃描方向

左右雙向

掃描最大采集點(diǎn)數(shù)

200萬點(diǎn)

掃描速度

5um/s - 100um/s

樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)方式

可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y),旋轉(zhuǎn)(RZ),手動(dòng)控制

XY樣品臺(tái)行程

150mm(快慢速調(diào)節(jié))

Z樣品臺(tái)行程

10mm

樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)

±360°

標(biāo)準(zhǔn)探針

曲率半徑≥2um 角度60°(標(biāo)配)

亞微米探

曲率半徑≤1um 角度60°(選配)

軟件功能

臺(tái)階、粗糙度等表面形貌測(cè)量,應(yīng)力測(cè)量


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