AU-XRT系列壓電旋轉臺是一款緊湊的高精度的旋轉平臺。該系列旋轉臺采用軸承技術，使壓電旋轉平臺的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉誤差小。該系列平移臺由滑塊驅動和超聲波馬達兩種驅動方式，可進行連續旋轉，對角度無限制，并且集成了光學編碼器閉環控制，使壓電旋轉臺擁有極高的分辨率和可重復性。

上海昊量光電設備有限公司推出的壓電旋轉臺按照使用馬達的不同可以分為兩類。

1）使用超聲波馬達驅動的旋轉臺，AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超聲波壓電馬達驅動的緊湊的旋轉臺。其與空氣軸承旋轉臺擁有相媲美的旋轉精度和誤差但是卻擁有更小的體積和更低廉的價格。與其它壓電技術相比超聲波壓電電機擁有更長的使用壽命、更低的功耗并且無噪聲。并且集成了光學編碼器閉環控制，精度zui高可達到0.0002°，速度zui大可達到1080°/s。該系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩款旋轉臺。

Fig1 運動誤差測量

Fig2 AU-XRT-U

2)滑塊式壓電馬達驅動旋轉臺AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達驅動，利用軸承技術，即使在旋轉過程中也可以主動將徑向誤差運動補償，AU-XRT-A的徑向誤差小于500nm，可以與空氣軸承精度相媲美，并且體積緊湊價格低廉，并且可以提供真空和磁性應用的產品。

Fig3. 運動誤差測量

Fig4.AU-XRT-A旋轉臺

主要特點

l  高精度（200μ°）

l  高速度（1080°/s）

l  可在真空10-6mbar和磁性（1.5T）條件使用

主要應用

l  微型CT掃描儀

l  X射線衍射系統

l  電子顯微鏡

l  同步加速器

l  計量學

產品參數：