科研版無掩模光刻機(jī)

高靈活性、高精度、無掩模的優(yōu)勢，非常適用于科學(xué)研究。

ACA系列科研版無掩模光刻機(jī)，其基于空間光調(diào)制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了數(shù)字掩膜光刻，靈活性使其成為科學(xué)研究的不二之選。設(shè)備搭載長壽命、高功率的紫外光源，設(shè)備穩(wěn)定，上手簡單。其獨(dú)特的原位光繪和交互式套刻指引功能，讓光刻和套刻更加容易。ACA系列無掩模光刻機(jī)為科研工作提供了強(qiáng)大的支持，助力科學(xué)研究領(lǐng)域的發(fā)展和創(chuàng)新。

ACA無掩模光刻機(jī)亮點(diǎn)：

特征尺寸0.8μm

6英寸光刻面積

高精度步進(jìn)光刻

無掩模光刻機(jī)

ACA Pro無掩模光刻機(jī)亮點(diǎn)：

特征尺寸0.4μm

6英寸光刻面積

高精度步進(jìn)光刻

無掩模光刻機(jī)

ACA Master無掩模光刻機(jī)亮點(diǎn)：

特征尺寸0.4μm

6英寸光刻面積

掃描光刻/步進(jìn)光刻 可切換

無掩模光刻機(jī)