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納米位移平臺(tái)

  • 品牌:孚光精儀
  • 型號(hào)/貨號(hào): X-TRIM/Nanometer Stage
  • 產(chǎn)地:
  • 供應(yīng)商報(bào)價(jià):€10000
  • 孚光精儀(香港)有限公司

    銷售范圍售全國(guó)

    入駐年限第10年

    營(yíng)業(yè)執(zhí)照

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詳細(xì)介紹

納米位移平臺(tái),真空納米位移臺(tái)ZG領(lǐng)xian的進(jìn)口光學(xué)精密儀器旗艦型服務(wù)商-孚光精儀進(jìn)口銷售,先后為北京大學(xué),中科院上海光機(jī)所,ZG工程物理研究院,航天3院,哈工大,南開,山東大學(xué)等單位提供優(yōu)質(zhì)進(jìn)口的納米位移平臺(tái),真空納米位移臺(tái),納米位移臺(tái).
這款納米位移平臺(tái)是美國(guó)進(jìn)口的高速高精度真空納米位移臺(tái),它采用先進(jìn)技術(shù)設(shè)計(jì), 具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇, 適合高真空環(huán)境和非磁性定位應(yīng)用.
美國(guó)進(jìn)口高精度低價(jià)格系列納米定位臺(tái),采用了陶瓷伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),非常適合要求精度達(dá)到納米或壓納米的高精度和高重復(fù)精度的應(yīng)用,例如:精密生命科學(xué)儀器、顯微成像、納米準(zhǔn)直、微納加工、光學(xué)精確定位等。

X-TRIM 系列納米位移臺(tái)特色
10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)
雙驅(qū)動(dòng)任選
:線性伺服或壓電驅(qū)動(dòng)
高密度滾珠傳導(dǎo)增加穩(wěn)定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺(tái)
緊湊型封裝
可真空使用
工作能力,大吞吐量

采用無鐵芯直接驅(qū)動(dòng)直線電機(jī),驅(qū)動(dòng)軸位于納米位移臺(tái)的中心線, 這種設(shè)計(jì)消除了非中心驅(qū)動(dòng)導(dǎo)致的偏航,空回等問題.
納米位移臺(tái)集成了一個(gè)高分辨率
(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為閉環(huán)的伺服系統(tǒng)工作操作提供了精密反饋, 它的標(biāo)準(zhǔn)配置就可以提供納米精度的定位.
納米位移平臺(tái)使用能夠了精密的滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)確保了位移平臺(tái)高精度性能和嚴(yán)格的軌跡控制。
納米位移平臺(tái)也適合
OEM使用,它具有較低拋面和較小尺寸,采用模塊化設(shè)計(jì),用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。
這款納米位移平臺(tái)使用了非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù),提供堅(jiān)固,精確,高速的定位,滿足高頻率大工作量的需要。納米定位平臺(tái)使用了先進(jìn)的無鐵直線電機(jī)直接確定技術(shù),確保zuiyou異的納米級(jí)定位性能。

這款納米定位臺(tái)提供了高速度,高精度,高分辨率,高性能的卓越表現(xiàn)。它與傳統(tǒng)的絲杠驅(qū)動(dòng)或壓電驅(qū)動(dòng)相比,具有更大的工作效率和吞吐量。

參數(shù)

行程(mm): 2550mm(單軸或雙軸)
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
: 無鐵芯直線電機(jī)或陶瓷伺服電機(jī)
最大加速度
: 由負(fù)載決定
最大速度
: 200mm/s (無負(fù)載時(shí))
最大推力
: 24N
最大負(fù)載
: 2Kg
精度
: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脈沖
構(gòu)造材料
: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復(fù)精度
: 5倍精度

XT 25 XT 50 XT 2525 XT 5050
Travel Length (mm) 25 mm 50 mm 25 x 25 mm 50x 50 mm
Trajectory Control
Accuracy
Linear Encoder ± 1.0 μm ± 2.0 μm ± 2.0 μm ± 4.0 μm
Straightness/Flatness ± 1.0 μm ± 1.0 μm ± 2.0 μm ±2.0 μm
Yaw/Pitch/Roll 5 arc-sec 5 arc-sec 10 arc-sec 10 arc-sec
2 axis system
Orthogonality
Standard Grade NA NA 5 arc-sec 5 arc-sec
High Precision NA NA 2 arc-sec 2 arc-sec
Extra High Precision NA NA 1 arc-sec 1 arc-sec

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