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Femto Science 等離子清洗機表面處理設備 CUTE

品牌：北京燕京電子
型號： CUTE
產地：亞洲韓國
供應商報價：面議

北京燕京電子有限公司更新時間：2023-03-06 10:34:29

銷售范圍售全國

入駐年限第6年

營業執照已審核

同類產品PMDS芯片制備系統(8件)

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產品特點

CUTE系列等離子清洗機來自韓國Femto Science公司，是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統，其獨特的設計保證了高度穩定和均勻輝光放電等離子體產生，可應用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學以及微電子領域，適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強、層間粘附、刻蝕等操作，標配一路自動氣體流量計，可實現對工藝氣體的精確控制。
CUTE系列等離子清洗機，其艙體采用鋁合金制作，堅固耐用且抗腐蝕，其艙體自帶顯示屏，配合顯示屏下方的操作按鈕，使用簡單，方便快捷。

詳細介紹

Femto Science 等離子清洗機表面處理設備 CUTE

圖片

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簡介

CUTE系列等離子清洗機，其艙體采用鋁合金制作，堅固耐用且抗腐蝕，其艙體自帶顯示屏，配合顯示屏下方的操作按鈕，使用簡單，方便快捷。

規格參數

項目	參數
艙體材質	鋁合金
艙體內部尺寸	140mm x 200mm x 110mm
電源頻率	20~100kHz
電源功率	最大100W 可自由調節
標準氣體輸入	1 x 氣路
額外氣體輸入	2 x 空管道可供升級
氣體流速控制	MFC自動控制
最大流速	100sccm
氣體流速控制精度	滿量程的1%
真空泵抽氣速率	80L/min
最小真空	1 x 10-3 Torr
真空測量范圍	大氣壓 ~ 5 x 10-5 Torr
顯示	彩色觸摸屏，圖形化控制界面
操作員分級	2級操作人員分級
程序	可進行半自動控制和全自動編程控制
參數存儲	最大10組工藝參數儲存，每組工藝包含最多10個工藝步驟