一站式微流控SU8模具加工工作站（不需要無塵室和超凈間）

沒有無塵室，您依然可以加工自己的SU-8模具
我們的SU-8光刻臺式工作站包括您在實(shí)驗(yàn)室加工微流體模具所需要的一切組件，即使沒有超凈間，憑借該SU-8模具工作站，您也可以加工出來具有與超凈間相同的分辨率的模具。SU-8模具工作站可以縮短芯片加工的總時間，快速實(shí)驗(yàn)?zāi)约旱奈⒘黧w實(shí)驗(yàn)研究。

一站式SU-8模具加工站
我們的SU-8模具加工站是一個交鑰匙的產(chǎn)品，無需購買任何其他設(shè)備。基本上，僅需要一個化學(xué)通風(fēng)廚和少量的工作空間。我們也會根據(jù)您實(shí)驗(yàn)室內(nèi)現(xiàn)有的設(shè)備來調(diào)整報價。

優(yōu)勢&特點(diǎn)
（1）達(dá)到與超凈室相同的圖案分辨率
（2）獲得強(qiáng)大的光刻膠圖案，可用于眾多未來的PDMS模塑。
（3）使用健壯的工藝流程，輕松實(shí)現(xiàn)可重復(fù)性
（4）即使沒有微加工的初步知識，您也可以熟練的加工模具
（5）獲得**的模具加工設(shè)備，以確保您的設(shè)備具有較長的使用壽命

包含的組件
配套設(shè)備
（1）數(shù)字電熱板
（2）UV燈系統(tǒng)
（3）可編程旋涂機(jī)
配件與化學(xué)品
包括所有化學(xué)藥品（SU-8，SU-8顯影液、Omnicoat、異丙醇、丙酮等）和所有實(shí)驗(yàn)室配件（微量移液槍、計時器、玻璃器皿、封口膜、鑷子、金剛石刮板、硅片、玻璃載玻片、一次性杯子、攪拌棒、手術(shù)刀等），以便為您提供最完整的套件。

技術(shù)支持
標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)支持包：我們會為您提供所有儀器的售后服務(wù)，為您提供微細(xì)加工過程表格和教程，同時提供1年的電話支持，以回答您可能遇到的任何微細(xì)加工問題。

擴(kuò)展支持包：除了標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)支持包，我們研發(fā)團(tuán)隊(duì)還會在您的實(shí)驗(yàn)中直接安裝您的設(shè)備，我們會根據(jù)您的需求在現(xiàn)場調(diào)整我們的所有微加工工藝，并培訓(xùn)您的團(tuán)隊(duì)，直到準(zhǔn)備好加工所有微流控芯片為止。

技術(shù)規(guī)格參數(shù)
我們?yōu)槟x擇并采用了**的儀器，以使其與可靠的加工過程協(xié)同工作。您可以從下面看到設(shè)備的簡短說明。

旋涂機(jī)

該旋涂機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，并且具有高級功能。它適用于直徑?150 mm的晶圓和5” × 5”（127 mm × 127 mm）的基板。此旋涂機(jī)經(jīng)過微調(diào)，可加工可控和可重復(fù)的SU-8光致抗蝕劑層。

適用于軟光刻應(yīng)用的設(shè)備

其緊湊的尺寸和附加的小面板控制使該設(shè)備實(shí)現(xiàn)真正的移動。該旋涂機(jī)已廣泛應(yīng)用于SU-8光刻膠涂層。蓋子上的孔可以進(jìn)行動態(tài)SU-8涂覆。通過藍(lán)牙輕松連接到您的PC，您可以保存并命名您的實(shí)驗(yàn)配方。

主要優(yōu)勢
（1）專為易用性設(shè)計
（2）易于通過操作面板或PC進(jìn)行編程
（3）能夠設(shè)置多種加速度和速度的復(fù)雜序列
（4）無堵塞，延長使用壽命
（5）低振動
（6）轉(zhuǎn)速高達(dá)12000 rpm
（7）提供晶圓對中工具

UV燈系統(tǒng)

獨(dú)特的UV LED曝光和遮罩系統(tǒng)（可選），具有365 nm或者385 nm波長的可用光源。這是一種非常緊湊的臺式系統(tǒng)，能夠?qū)χ睆阶畲鬄?英寸的晶圓表面積進(jìn)行曝光。該自動UV曝光系統(tǒng)與硬（物理）或軟（接近）掩膜觸點(diǎn)兼容，并具有可變的掩膜到基板距離的控制功能。

適用于軟光刻應(yīng)用的設(shè)備

該UV曝光系統(tǒng)具有2μm的分辨率，特別適合軟光刻應(yīng)用。閃光曝光可以減少光刻膠的內(nèi)部機(jī)械應(yīng)力。其體積小巧，可將其安裝在所需的任何位置，尤其是在潔凈室之外。

主要優(yōu)勢：
（1）晶圓表面上方的wan美單色曝光（帶寬低于10 nm）
（2）冷紫外線
（3）光線發(fā)散角＜2°
（4）強(qiáng)大的功率密度
（5）LED使用壽命長：超過1萬小時，相當(dāng)于8-10年的使用時間
（6）用戶友好的觸摸屏界面，可進(jìn)行曝光周期編程
（7）無需預(yù)熱時間
（8）直觀的UV光源強(qiáng)度控制
（9）自動化晶圓加載和卸載系統(tǒng)
（10）可與玻璃和塑料光罩一起使用
（11）在4英寸晶圓上具有很高的紫外線均勻度
（12）集成紫外線儀表

可編程熱板
 

確保準(zhǔn)確、均勻且穩(wěn)定的溫度設(shè)定點(diǎn)。該數(shù)字式熱板設(shè)備可設(shè)置溫度斜坡以進(jìn)行加熱和冷卻。通過可編程控件使您的生活更加輕松，這些控件可以實(shí)現(xiàn)光刻過程的自動化。

適用于軟光刻應(yīng)用的設(shè)備

可編程熱板的頂板和很大的加熱表面積使它具有足夠?qū)挼膮^(qū)域，溫度均勻，可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻膠。溫度斜坡使得能夠減小光致抗蝕劑層內(nèi)部的機(jī)械應(yīng)力。可編程工具可進(jìn)行長時間的光刻膠烘烤，而無需停留在設(shè)備的面前。

主要優(yōu)勢：
（1）加熱和冷卻的溫度斜坡曲線
（2）4英寸晶圓的高溫均勻性
（3）微處理器顯示屏保持溫度恒定
（4）最小溫度超調(diào)
（5）自動計時器
（6）光滑的鋁板，易于清潔光刻膠
    
更多信息
自動匹配您實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有設(shè)備的報價！
由于每個實(shí)驗(yàn)室都是不同的，因此，每個研究都是獨(dú)特的，所以我們會根據(jù)實(shí)際需求盡可能地調(diào)整報價。我們與您一起討論什么是效率最高的設(shè)備，從而增加或刪除設(shè)備、配件、化學(xué)品等等。

請您隨時聯(lián)系我們并對您的實(shí)驗(yàn)設(shè)備進(jìn)行評估且給出項(xiàng)目建議。

可選項(xiàng)
我們已經(jīng)創(chuàng)建了基本報價，其中包含完整工具集所需要的一切，但是可以對其進(jìn)行一些選擇或修改以更好地滿足您的需求。請查看我們的產(chǎn)品概述，以了解有關(guān)產(chǎn)品選項(xiàng)的更多信息。
    
除此之外，我們在這里收集了一些更適合您的SU-8模具工作站的可選設(shè)備。

空氣壓縮機(jī)

配備高達(dá)8 bar的空氣壓縮機(jī)，可替換實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的任何氣體管線。

真空泵

小型真空泵可替換實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的任何真空管線，以便進(jìn)行除氣，并牢固地保持旋涂機(jī)上的所有基材。

顯影振動機(jī)

要對厚的光刻膠層進(jìn)行輕松的顯影，可以使用該顯影工具，它將在您整個顯影期間為您帶來**抖動。

光學(xué)輪廓儀

如果要檢查模具的厚度，我們可以為您提供此光學(xué)輪廓儀。該光學(xué)輪廓儀易于使用，體積小巧，適合您的實(shí)驗(yàn)室工作臺，是市場上性價比**的一款輪廓

微流控芯片PDMS實(shí)驗(yàn)室加工空間和一覽