全自動化的XPS系統采用一束掃描、聚焦、單色化的Al X射線源以及一束掃描、聚焦、單色化Cr X射線源用于高空間分辨率的化學態分析和HAXPES* ( 硬X射線光電子能譜分析）。Al單色化X射線
能量是1486.7 eV，Cr單色化X射線能量是5414.9 eV。單色化Cr X射線源分析深度是Al單色化X射線源的3倍。