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合肥科晶1150℃三溫區8.5" 管式爐

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合肥科晶1150℃三溫區8.5" 管式爐 核心參數
內部尺寸 L 1700×W 750 × H1800mm 穩定性
最高溫度 1150°C

產品特點

GSL-1100X-III-8.5T是一款通過CE認證并采用UL標準制造的一款三溫區管式爐。該管式爐配備有8.5英寸的石英管和水冷法蘭,一塊觸摸屏控制溫度和真空度,操作簡潔方便。zui高工作溫度1150℃,真空度可以達到10-5 torr。該管式爐是一款理想的做退火,擴散和CVD等的實驗設備。

詳細介紹

1150℃三溫區8.5"管式爐產品介紹:

      GSL-1100X-III-8.5T是一款通過CE認證并采用UL標準制造的一款三溫區管式爐。該管式爐配備有8.5英寸的石英管和水冷法蘭,一塊觸摸屏控制溫度和真空度,操作簡潔方便。最高工作溫度1150℃,真空度可以達到10-5 torr。該管式爐是一款理想的做退火,擴散和CVD等的實驗設備。

1150℃三溫區8.5" 管式爐技術參數:

爐體結構
  • 采用雙層殼體風冷系統,工作時使得殼體表面溫度<60°C。

  • 采用高純度氧化鋁作為爐膛材料,保溫性能,最大限度減少熱量損失。

  • 通過觸摸屏控制工作溫度,真空度,水冷機組

  • 在爐子底部安裝有水冷和高真空機組

  • 采用鉸鏈水冷法蘭,操作方便簡潔

石英管尺寸
  • 采用高純度石英管

  • 尺寸:  216 O.D x 206 I.D x 1300mm L ?(8.5" O.D?x 8.1" I.D x 51" L)

  • 提示:石英管是損耗品,請點擊左下方的圖片查看相關細節

  • 警告:石英管是易碎品,請妥善保管。人為損壞不在保修范圍內。

  • 標配兩塊氧化鋁纖維管堵,用于阻擋管內的熱輻射(加熱爐在工作時必須放入管堵)

  • 可選石英管堵,提高潔凈度及真空度(點擊圖片查看詳細資料)

加熱區
  • 總加熱區長度: 900 mm (36")

  • 三個區: 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每個加熱區)

  • 恒溫區長度: 750 mm (三個溫區可設置相同的溫度,誤差為+/- 2°C)  注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據,請與我公司銷售人員聯系 

工作溫度
  • 最高工作溫度 1150°C

  • 連續工作: 200~1100°C

  • 最大加熱/冷卻速率: 10°C/min

溫度控制
  • 配備一塊觸摸屏控制溫度

  • 三個加熱區可分別設置30段升降溫程序

  • 控溫精度+/- 1°C

  • 每個溫區都配備一個K型omega原裝熱電偶

真空泵系統
  • 在爐子下方配備了一個數子分子泵系統

  • 最高真空度可達10-5 torr

  • 真空泵由觸摸屏控制

真空系統及法蘭
  • 配備一對水冷密封法蘭(鉸鏈法蘭)

  • 左法蘭配備:真空計和觸摸屏控制的電磁閥(用于控制爐內氣氛環境)

  • 右法蘭配備:KF40真空接口,用于連接真空泵接口上的電磁閥

  • 法蘭外端配備一個外徑1/4"的熱電偶插口,用于方便進行溫度校準

  • 爐子底部配備有一個16L/min水冷機,用于水冷法蘭的供水

可選可以另配混氣系統用于CVD實驗
額定電壓
  • 單相, 220V AC, 50/60 Hz

  • 包括AWG 8#電源線

產品尺寸 L 1700×W 750 × H1800mm  
凈重250Kg
質保期一年質保期,終身維護(爐管,密封圈,加熱元件易耗件除外)
質量認證
  • CE認證

  • 所有電器元件(>24V)都通過了UL/MET/CSA認證

使用注意事項:
  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃

  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)



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