微波等離子體化學氣相沉積（MPCVD）系統，微波發生器產生的微波用波導管傳輸至反應器，并向反應器中通入不同氣體構成的混合氣體，高強度微波能激發分解基片上方的含碳氣體形成活性含碳基團和原子態氫，并形成等離子體，從而在基片上沉積得到金剛石薄膜。

Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長系統，是實現高質量金剛石晶體生長、高純度晶體薄膜沉積、高溫晶體熱處理的專業設備。廣泛應用于金剛石晶體生長、原料沉積、晶體熱處理領域。

以金剛石為代表的寬禁帶半導體材料在微電子、電力電子和半導體照明器件等領域有著重要的應用和廣闊的市場前景。同時它還以其優異的物理和化學性能在國防、航空、航天、石油勘探、光存儲、傳感器窗口、顯示等領域有著重要應用前景，市場潛力巨大。金剛石器件己從高價時代的航天、航空、雷達、核能開發等領域，擴展至石油和地熱鉆井勘探、變頻空調、平板電視、混合動力汽車和電動汽車以及太陽能光電變換等民用領域。