參數規格：

最大掃描量程： 10mm

垂直分辨率: <0.01nm

RMS 重復性 (PSI) : 0.01nm

臺階高度準確性: 0.75%

臺階高度重復性: <0.1% 1sigma repeatability

最大坡度 光滑面: 可達 40°

最大坡度 粗糙面: Up to 87°

光學測量模塊: 雙LED（ZG）照明,單筒物鏡或轉塔，單個放大鏡或自動轉動放大鏡

物鏡: 同焦面: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x

長工作距離: 1x, 1.5x, 2x, 10x

TTM: 2x, 5x, 10x, 20x

明場: 5x, 10x, 20x, 50x

放大鏡: 0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x

校準: 可溯源的臺階高度標準樣

軟件系統: 基于Windows 7 64 位操作系統的Vision64 分析軟件

價格面議，聯系人：姚迪 先生

電話：135 1085 3931