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非接觸式3D輪廓儀

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產品特點

通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進行高進度和高速測量。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數的轉換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

詳細介紹

Nano View-2400非接觸式3D輪廓儀

NanoSystem NV-2400.jpg

Nano View-2400非接觸式3D輪廓儀LCDIC PackageSubstrateBuild-up PCBMEMSEngineering Surfaces等領域提供納米級別精度的量測.

通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm3維表面形貌進行高進度和高速測量。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數的轉換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

 

產品規格:

干涉物鏡:5個物鏡可選

掃描范圍:0-180um270um5mm可選)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm PSI :﹤0.1nm

傾斜臺:±6°

Z軸行程:100mm(手動)

工作臺面:100X100mm(程控)



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