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等離子體刻蝕終點檢測儀
- 品牌：Hiden Analytical
- 型號： IMP
- 產(chǎn)地：歐洲 英國
- 供應(yīng)商報價：面議
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北京英格海德分析技術(shù)有限公司
更新時間：2021-12-23 16:54:49 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品等離子體-材料表面(18件)
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詳細介紹
- 儀器簡介：
IMP離子蝕刻探針（IonMil領(lǐng)Probe）,自帶差式泵，堅固的二次離子質(zhì)譜儀，適于分析離子蝕刻過程中的二次離子和中性粒子.
獨有的專業(yè)終點檢測（EndPointDetection）儀器，用于離子蝕刻控制以及過程質(zhì)量zuiyou化監(jiān)測.
技術(shù)參數(shù)：
應(yīng)用：
終點檢測（End Point Detection）
靶的純度鑒定
質(zhì)量控制/ SPC.
殘余氣體分析
泄漏監(jiān)測
主要特點：
特點：
高靈敏度的 SIMS/MS，帶脈沖離子計數(shù)檢測器
三級過濾四極桿，標準配置質(zhì)量數(shù)為300 amu
差式泵歧管，經(jīng)連接法蘭，接到過程室
離子光學器件，帶能量分析器和內(nèi)置離子源
Penning規(guī)和互鎖裝置，以提供過壓保護
數(shù)據(jù)系統(tǒng)與過程控制工具整合
穩(wěn)定性(24h以上，峰高變化小于 ±0.5%)
通過 RS232、RS485或以太網(wǎng)， 軟件MASsoft控制
程控DDE, 平行數(shù)字式I/O, RS232通訊
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