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高性能隔振平臺
- 品牌：卓立漢光
- 型號： DVID系列-C型
- 產地：亞洲 韓國
- 供應商報價：面議
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北京卓立漢光儀器有限公司
更新時間：2025-04-16 09:03:00 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
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詳細介紹
特點:
◆作為半導體FAB用，可在Class 1潔凈的室內環境中使用
◆所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題。
◆安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內空氣潔凈度的集中排氣回收器具。
◆為減少潔凈室內空氣阻力使用打孔結構的上板。
◆打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能夠積塵的縫隙或彎曲部位。技術指標
◆固有頻率: 1.2Hz ~ 2.0Hz
◆隔振效率:
at 10Hz : 75% ~ 95%
at 20Hz : 85% ~ 98%
◆水平復位精度 : ±0.1
◆靜負載 : 500kg
◆自重 : 150 ~ 250kg
◆材料 : 支架及頂部：不銹鋼
頂蓋：不銹鋼
◆工作氣源 : 3~5kg/cm2 壓縮空氣或瓶裝液氮
◆阻尼形式:孔式空氣阻尼
用途
探針臺、顯微鏡、Mask、aligner、A.F.M、S.T.M、
薄膜厚度形狀測定儀、其它半導體相關檢驗裝備。技術資料
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滬公網安備 31011502008050號