日立高新場發射掃描電子顯微鏡SU8200系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8200 Series，SU8220，SU8230，SU8240）采用日立高新技術公司全新開發的冷場電子槍，實現超高分辨率下觀察的同時，穩定的束流亦可滿足長時間下的分析需求。在日立高新的新型冷場發射掃描電鏡(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款機型，于5月20日開始發售。

　【主要特點】

　日立高新新研發的冷場電子槍

　　?利用電子槍轟擊后的高亮度穩定期，高分辨觀察和分析兼顧

　　?大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)

　　?減輕污染的高真空樣品倉

　　?通過頂部過濾器(選配項)實現多種材料對比度可視化