UHP150系列超高純氣體純化器采用吸附深度和雜質吸附容量高的活性金屬為化學吸附劑，通過化學反應方法選擇性吸附氫氣、氮氣和惰性氣體中的雜質氣體。純化床采用高純不銹鋼電化學拋光管、低泄漏率氣動隔膜閥門，采用全自動軌道焊機焊接而成，可實現純化后氫氣、氮氣和惰性氣體等出口氣體純度即達到7N - 8N，無人值守全自動運行，達到國際領xian水平， 已應用于多家企事業單位、高校及科研院所。純化性能指標見下表，用戶可根據用氣場合和用氣量需求，對應選擇型號，也可進行功能定制。

表 純化性能指標

UHP150系列超高純氣體純化器主要用于提供工業生產、測試中的超高純度工藝氣體、保護氣等，也是氣體配置行業必不可少的關鍵設備之一。可用于半導體制造業中干刻蝕、離子注入等工藝中等離子體氣體，直讀光譜儀載氣；IC、LED等制造業中外延工藝和擴散工藝氣體等。