SD-900M 型離子濺射儀外觀亮麗做工精致。

磁控濺射是物理氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。

配有高位定性的飛躍真空泵

參數(shù)

濺射氣體:根據(jù)實(shí)驗(yàn)?zāi)康目商砑託鍤猓獨(dú)獾榷喾N氣體。

濺射靶材:標(biāo)配靶材為金靶，厚度為50mm*0.1mm。也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。

濺射電流:最大電流100mA,最大工作電流80mA

濺射速率:30nm/min

樣品倉(cāng)尺寸:直徑160mm，高120mm

樣品臺(tái)尺寸:樣品臺(tái)尺寸可安裝直徑50mm和直徑70mm的樣品臺(tái)，也可根據(jù)自身要求定制樣品臺(tái)

工作電壓:220V(可做110V),50HZ

需要鍍膜的樣品

ETD系列鍍膜儀是一款專為SEM、TEM及薄膜應(yīng)用設(shè)計(jì)的真空鍍膜儀，對(duì)于掃描電鏡尤其是高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(SEM)樣品制備、透射電鏡(TEM)及其它非電鏡(如材料領(lǐng)域)鍍膜應(yīng)用非常理想。ETD離子濺射儀采用金屬壓制的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱，此機(jī)箱做工精良，結(jié)構(gòu)穩(wěn)固。飛越牌真空泵抽數(shù)快，真空穩(wěn)定性高。自主設(shè)計(jì)的微型真空閥能準(zhǔn)確的控制好壓強(qiáng)，保證了鍍膜期間**的真空條件。真空腔室直徑為165mm (6.5英寸)的硼硅酸鹽玻璃，特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；陶瓷密封高壓頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。ETD系列含有電磁閥裝置，在工作完畢后緩慢，平穩(wěn)的進(jìn)氣以確保鍍好的膜層盡可能的不被空氣中的雜質(zhì)所污染。ETD系列有七種型號(hào)：ETD-900、ETD-800、ETD-900C、ETD-800C、ETD-900M、ETD-3000、ETD-MH、ETD-CH，其中ETD-900C為一款集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種真空鍍膜方式的系統(tǒng)，鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)快速完成鍍膜。它既可濺射易氧化及不氧化金屬（貴金屬），標(biāo)配一塊金靶，可選金、銀、鉑等多種金屬靶；用來(lái)制作高穩(wěn)定性的碳膜和表面覆形膜，對(duì)透射電鏡（TEM）的應(yīng)用非常理想。

ETD-900M為一款濺射插入頭為磁控系統(tǒng)的濺射儀，可使濺射處理期間產(chǎn)生的高能電子偏轉(zhuǎn)，從而遠(yuǎn)離樣品，這有助于創(chuàng)建必要的冷濺射環(huán)境以消除熱影響，且確保濺射成膜中的精細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)；

ETD-3000型為一款針對(duì)材料做電極的濺射儀，較高的輸出電壓能使成膜更加牢固，防止膜層脫落。

儀器特點(diǎn)：

 金屬濺射和碳蒸發(fā)兩者兼?zhèn)洌惑w化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)約空間。

 精細(xì)顆粒濺射——適合先進(jìn)的高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡和鎢燈絲掃描電鏡制樣的應(yīng)用。

  定時(shí)器控制——快速數(shù)據(jù)輸入，操作簡(jiǎn)單。采用定時(shí)器作為簡(jiǎn)單的操作核心，即使最不熟練的或偶而使用的操作者，儀器也能使其快速鍵入自己的處理數(shù)據(jù)。

  微型真空調(diào)節(jié)閥讓使用者更好調(diào)節(jié)真空，以適應(yīng)不同的靶材和材料，形成最更優(yōu)質(zhì)的薄膜。

  精細(xì)的厚度控制——使用膜厚監(jiān)控選項(xiàng)。（選配）

  先進(jìn)的碳纖維夾持上蓋——簡(jiǎn)單操作，重復(fù)性好。

  標(biāo)配高低可調(diào)節(jié)樣品臺(tái)，可放置多個(gè)樣品杯。還可定制多種型號(hào)樣品臺(tái)。

  自動(dòng)泄氣裝備可防止真空泵由于壓差原因使油倒灌進(jìn)樣品室，還可避免樣品突然暴露在空氣中造成膜的污染。

   標(biāo)準(zhǔn)成型機(jī)箱——小巧，美觀，易維護(hù)和易拆裝。

特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；陶瓷密封高壓頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

部分可選項(xiàng)：

 光纖夾持旋轉(zhuǎn)樣平臺(tái)

 球型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

 顯微鏡載玻片樣品臺(tái)

 用于高樣品的加高腔室

 膜厚監(jiān)測(cè)附件（FTM），用于可重復(fù)膜厚控制：到達(dá)理想膜厚。