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Load Port對(duì)應(yīng)膜厚測(cè)量系統(tǒng) GS-300

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●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

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產(chǎn)品信息

測(cè)量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸

規(guī)格

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測(cè)量示例

1-210S119343TK.jpg

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