該射頻電源采用3U半機箱設計，整機功率密度高。支持連續波、脈沖、多級脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號，響應速度快，信號質量高。支持高速、高精度的調頻功能。

應用特征

該電源主要應用對象包括：刻蝕、ICP、 PECVD。