技術參數：

1.轉速范圍：100-9999RPM，轉速分辨率：1RPM
2.ZD單步步長3000S，旋轉時間分辨率1S
3.加速度可控范圍：100-9999RPM/S
4.可處理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圓晶底物
5.液晶文本顯示，可提供中英文操作界面，簡單易用
6.快速運行和程控運行可選，最多5組5步的程控操作模式
7.100W直流無刷電機，寬電壓適用：AC100-230V輸入
8.標配三種規格鋁合金真空載物盤（直徑10mm、25mm、55mm）
9.乳白色PP耐腐蝕外殼，耐腐蝕開模內腔
10.外型尺寸：210(W)*265(D)*213(H)