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產(chǎn)品中心

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液氮高低溫探針臺(tái)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

? 液氮高低溫真空探針臺(tái),15分鐘內(nèi)腔體真空度可達(dá)到 10E-4torr,液氮消耗量小,降到Z低溫度只需0.2L液氮,使用方便快捷同時(shí)兼顧經(jīng)濟(jì)性。
? 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作,可以在不破壞真空 的情況下,切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
? 獨(dú)特的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié),能滿足Z大4英寸樣品的測(cè)試。
? 真空腔材質(zhì)為鋁制材料,能夠有效減小外界的電磁干擾,提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性
? 探針臂采用三同軸接頭,漏電性能好,實(shí)測(cè)漏電流小于100fA @1V@80K--800K
? 測(cè)試溫度范圍寬,Z大支持80K-800K連續(xù)變溫。
? 獨(dú)特設(shè)計(jì)的柔性探針,將探針安裝到銅制彈片上,避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞
? 上蓋采用翻蓋結(jié)構(gòu),換樣更便捷。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

Avantgarde 液氮高低溫探針臺(tái)在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測(cè)試,幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能,從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。
PSM-LN2系列液氮高低溫探針臺(tái)能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)80K-800K高低溫真空測(cè)試環(huán)境,通過外接不同的電學(xué)測(cè)量?jī)x器,可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測(cè),用于低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電測(cè)試。


特點(diǎn)
? 液氮高低溫真空探針臺(tái),15分鐘內(nèi)腔體真空度可達(dá)到 10E-4torr,液氮消耗量小,降到最低溫度只需0.2L液氮,使用方便快捷同時(shí)兼顧經(jīng)濟(jì)性。
? 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作,可以在不破壞真空 的情況下,切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
? 獨(dú)特的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié),能滿足4英寸樣品的測(cè)試。
? 真空腔材質(zhì)為鋁制材料,能夠有效減小外界的電磁干擾,提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性
? 探針臂采用三同軸接頭,漏電性能好,實(shí)測(cè)漏電流小于100fA @1V@80K--800K
? 測(cè)試溫度范圍寬,支持80K-800K連續(xù)變溫。
? 獨(dú)特設(shè)計(jì)的柔性探針,將探針安裝到銅制彈片上,避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞
? 上蓋采用翻蓋結(jié)構(gòu),換樣更便捷。


技術(shù)參數(shù)

參數(shù)和指標(biāo):

探針臺(tái)主機(jī)分類
型號(hào)PSM-LN2-2
PSM-LN2-2H
PSM-LN2-4
PSM-LN2-4H
溫度范圍 
80K--500K
80K--800K
80K--500K 
80K--800K
控溫穩(wěn)定性
+/-50mK
+/-100mk
+/-50mK
+/-100mk
樣品座
類型及材料無氧銅接地鍍金樣品座
無氧銅接地樣品座 
無氧銅接地樣品座
無氧銅接地樣品座 
尺寸2寸2寸4寸4寸
可選規(guī)格絕緣樣品座 (最高溫度只能到400K)
同軸樣品座 (最高溫度只能到400K)
三同軸樣品座(最高溫度只能到400K)
探針臂
類型直流探針臂
數(shù)量4
接頭及電纜
三同軸接頭+極細(xì)同軸低溫電纜
漏電流100fA@1V 真空環(huán)境中
信號(hào)頻率
 DC--50MHz
匹配阻抗 
50歐姆
位移范圍
Z +/-6.5m R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5m 
X+/- 35mm,Y+/- 12.5m
Z +/-6.5m R+/-10°
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡放大倍數(shù)
 10--180倍
分辨率
3微米
視場(chǎng) 
22mm
工作距離
 90--100mm
真空腔
材料鋁合金
腔體容積
 4L
 5.5L
整體尺寸
800*800*600
900*900*600
腔體內(nèi)徑
 124mm
155mm
視窗尺寸
 50mm
 100mm
真空腔體窗口
紅外吸收窗口
防輻射屏窗口 
N/A標(biāo)準(zhǔn)石英窗口
                 N/A
標(biāo)準(zhǔn)石英窗口
真空度
 5*10E-4 torr
預(yù)留接口
2個(gè)探針臂接口&2個(gè)電學(xué)接口
防輻射屏材料
                  N/A
不銹鋼
                  N/A
不銹鋼
液氮腔體
液氮容量
 0.5L
冷卻時(shí)間
60分鐘到80K
 80分鐘到80K
液氮消耗量
0.2L從室溫到80K
0.3L從室溫到80K
液氮保持時(shí)間
 4小時(shí)@80K
 3小時(shí)@80K
專用振動(dòng)隔離桌
尺寸
 800*800*800
 900*900*800
桌推
 固定腳&滾輪


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