非標探針臺

 (1)微型探針臺

整機外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10kg；

雙探針座平臺鍍鏢設計，提高了針座平臺和針座之間的吸附力；

ChJKZC-UCk XY微分頭設計，行程25mm*25mm,精度2um；

ChJKZC-UCk大小：2英寸，中心吸附孔和多圈吸附環固定樣品,均獨立控制；

卡盤電學獨立懸空，帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用；

臺體底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動對測試的干擾;

整機人體工程學設計，操作簡單，使用便捷。

(2)倒裝手動測試夾具

可給樣品加載DC或者RF信號；

樣品可在0~180度任意角度內進行旋轉并固定；

具備微調功能，精度0.1度；

玻璃樣品載臺，高透光性；

可無磁化設計，在光學,電磁等環境中運用較為廣。

(3)光電流測試顯微鏡

可在原有光路基礎上可以導入另一路光源，用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下電學性能；

顯微鏡設計為雙光路或3光路，其中一路為導入光通路，另一到兩路為成像光路導入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調節。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設計，對導入光性質無影響；

導入光光路可選擇光時間開關,  控制導入光的輻照時間，精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對各種參數進 行詳細設置，成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25-10倍率，通常在高 低溫測試系統里會用到，同一個物鏡不切換，得到兩個不同視野的成像。

TEC制冷卡盤

（4）TEC制冷卡盤

釆用TEC制冷，無需液氮，使用方便；

可給樣品提供不同溫度環境；

樣品臺大小可選，防干擾設計，具備良好的接地性能;

溫度范圍:負45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,

溫度穩定性：土 0.3°C；

樣品臺微調升降，行程O-lOmm,精度10umo