概述：

SPA-6100半導體參數分析儀是武漢普賽斯自主研發、精益打造的一款半導體電學特性測試系統，具有高精度、寬測量范圍、快速靈活、兼容性強等優勢。產品可以同時支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試，旨在幫助加快前沿材料研究、半導體芯片器件設計以及先進工藝的開發，具有桌越的測量效率與可靠性。

基于模塊化的體系結構設計，SPA-6100半導體參數分析儀可以幫助用戶根據測試需要，靈活選配測量單元進行升級。產品支持Z高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量，同時檢測10kHz至1MHz范圍內的多頻AC電容測量。SPA-6100半導體參數分析儀搭載普賽斯自主開發的專用半導體參數測試軟件,支持交互式手動操作或結合探針臺的自動操作,能夠從測量設置、執行、結果分析到數據管理的整個過程，實現高效和可重復的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。

產品特點：

30μV-1200V；1pA-100A寬量程測試能力；

測量精度高，全量程下可達0.03%精度；

內置標準器件測試程序，直接調用測試簡便；

自動實時參數提取，數據繪圖、分析函數；

在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線；
提供靈活的夾具定制方案，兼容性強；

免費提供上位機軟件及SCPI指令集；

典型應用：

納米、柔性等材料特性分析；

二極管；

MOSFET、BJT、晶體管、IGBT；

第三代半導體材料/器件；

有機OFET器件；

LED、OLED、光電器件；

半導體電阻式等傳感器；

EEL、VCSEL、PD、APD等激光二極管；

電阻率系數和霍爾效應測量；

太陽能電池；

非易失性存儲設備；

失效分析；

系統技術規格

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