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產(chǎn)品中心

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基恩士 形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng) VK-X3000 系列

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產(chǎn)品特點(diǎn)

超越激光顯微鏡的限制,以三重掃描方式應(yīng)對(duì)
一臺(tái)即可測(cè)量納米/ 微米/ 毫米
一臺(tái)即可了解希望獲取的信息
Z高分辨率0.01 nm

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:

搭載白光干涉功能
納米/微米/毫米一臺(tái)即可完成測(cè)量

超越激光顯微鏡的限制,以三重掃描方式應(yīng)對(duì)

  • 一臺(tái)即可測(cè)量納米/ 微米/ 毫米

  • 一臺(tái)即可了解希望獲取的信息

  • 最 高分辨率0.01 nm


采用了三重掃描方式,運(yùn)用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度,以及鏡面體,透明體等。VK擁有應(yīng)對(duì)多種樣品的測(cè)量能力(從 1 nm 到 50 mm),納米/微米/毫米一臺(tái)完成測(cè)量。


產(chǎn)品特性

Basic Characteristics


觀察

image.png


從光學(xué)顯微鏡到SEM領(lǐng)域一臺(tái)設(shè)備涵蓋

  • 42 至 28800 倍

  • 無(wú)需對(duì)焦

  • 適用于多種樣品


測(cè)量

image.png


非接觸瞬間掃描形狀

  • 不會(huì)損傷目標(biāo)物

  • 納米級(jí)別也可準(zhǔn)確測(cè)量

  • 透明體和坡度大的目標(biāo)物也可測(cè)量


分析

image.png


希望了解的表面“差異”一目了然

  • 定量化微小形狀

  • 輕松比較多個(gè)樣品

  • 粗糙度分析



三重掃描方式
解決“難以測(cè)量”的難題

image.png


可根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測(cè)量范圍,選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理,進(jìn)行高精度測(cè)量。


最 高分辨率0.01 nm

即使是納米級(jí)的微小形狀變化也能準(zhǔn)確測(cè)量。

此外,如鏡面體、透明體等測(cè)量難度高的材料也能實(shí)現(xiàn)高速、高精度、大范圍的測(cè)量。


連高度差較大的凹凸處
和大范圍區(qū)域也能測(cè)量


image.png


最 大掃描區(qū)域50 mm見(jiàn)方。
凹凸不平或手掌大小的物體也能整體掃描。
只需一臺(tái)設(shè)備,即可同時(shí)掌握整體形狀和局部形狀。


精確測(cè)量高倍率和低倍率。平面和凹凸面。

適用于各種目標(biāo)物的測(cè)量能力


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