控制系統

控制方式

全自動控制（自動/手動切換）

PLC

操作系統

無

觸摸屏

小

電極規格

尺寸

W625×D216×H220mm

處理器

處理寬幅

寬度≤200-2000mm（可以根據客戶要求定制最寬2米）

材質

鋁合金（標配）/不銹鋼（可選

冷卻結構

空氣

空氣冷卻

蝕刻能效

速率

≥0.5μm/Min

均勻性

≥90%

水滴角

原玻璃初始< 30°

處理后原玻璃: ≤5°， 6000mm/min

移動速度

根據生產線調整

由最終用戶要求調整 ( 6000mm/min)

移動方式

生產線移動

水平/斜動輪軸輸送機

接地方式

一種

1 種 地接方式 10Sq 以上 (10Ω一下, 獨立地接)

工作溫度

入口處標準

5℃ 至 + 35℃

濕度

相對濕度

15% ~ 85%

N2氣流量

PF2A310-A ……………………200LPM 以下 電源供給裝置鎖定 聯鎖系統為了保護電極及電源供給裝置，在電源供給裝置啟動前檢查氣體壓力和流量的設置系統。