靜電卡盤能夠通過靜電力將多個芯片以及晶片的部件夾在晶片夾持器上。
這種設備對于研發機構來說非常有用，在完整的晶片上工作并不總是可能的。芯片的靜電夾持允許在HF蒸氣釋放之前對MEMS晶片執行苛刻的切割工藝。通過修改經典的制造順序，可以制造出具有極軟懸浮的MEMS器件。
靜電卡盤的使用非常簡單。芯片被放在晶片夾持器上，控制器盒上的開關打開電力。靜電力可調。