產品簡介

UNIXX SB20/30 半自動旋涂處理模塊提供出色的涂層均勻性和可重復性，特別是對于厚涂層和具有高形貌的負涂層。

UNIXX SB20/30 支持最大 ?200 (?300) mm 的晶圓，并可配置用于旋涂、基本清潔和干燥。 通過注射器分配、光刻膠泵或加熱介質管線等多種選項，這些模塊可以為我們的客戶提供個性化配置。加工區域易于清潔，并且可以抵抗最常用的化學品。

 產品特色

開碗式優點:

÷ 標準涂層

÷ 圓形晶圓最大可達 ?200 (?300) mm

÷ 方形襯底最大可達 150 x 150 (230 x 230) mm

÷ 適用于極薄和薄的光刻膠、SOG、Polymer 和 BCB 凸塊材料

÷ 易于清潔和維護

÷ 降低投資成本

兩個系統模塊的一般屬性:

÷ 手動裝卸

÷ 用于硅晶圓、玻璃晶圓、陶瓷晶圓和復合材料

÷ 1x 點膠臂，最多 6 條介質線

÷ 不同類型的噴嘴

÷ 直驅無刷旋轉電機

÷ 帶防濺環的可更換工藝碗

÷ 真空或低接觸卡盤或邊緣夾持卡盤

÷ 設備上或通過控制單元的啟停按鈕

÷ 系統正面的緊急停止按鈕

÷ 軟件提供用戶友好的操作和多用戶界面

技術數據

通用

襯底尺寸: 最大可達 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

最大可達 ?300 mm (?12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

電機轉速: 最大 10.000 轉*，以 1 轉 步進可編程

電機加速: 最大 40.000 rpm/sec*，以 1 rpm/sec 為步長

步進時間: 1 到 999.9 秒, 以 0.1 秒為步長

系統架構: 由粉末涂層不銹鋼制成，4 個可調節支腳和運輸輪

系統外殼: 由粉末涂層不銹鋼制成

工藝碗: 由天然 PP 制成

工藝蓋: 帶安全中斷傳感器的透明塑料蓋

*取決于卡盤設計、襯底重量和負載

要求

電源: 400(208) VAC / 3 相 / N / PE / 50(60) Hz

真空: -0.8 巴 （-80KPa）, 管 OD ?8 mm

CDA: 8 巴（800KPa）, 管 OD ?10 mm

氮: 4.5 巴（450KPa）, 管 OD ?10 mm

排氣過程: OD ?110 mm, 50 - 120m3/h*

排氣容器: OD ?110 mm, 50 - 200m3/h*

排水: 到帶有高液位傳感器的廢物罐或到設施排水管

尺寸 (寬X深X高) 

單底架: 650 x 650/875 x 960/1.130 mm (25.6 x 25.6/34.5 x 37.8/44.5 inch)

打開蓋子的高度: 1.525 mm (60 inch)