德國MBE-Komponenten 分子束外延系統(tǒng)OCTOPLUS 400

OCTOPLUS 400分子束外延是一款通用型MBE系統(tǒng)，非常適合于III/V族， II/VI族，及其他復(fù)合半導(dǎo)體材料應(yīng)用。兼容2-4英寸標(biāo)準(zhǔn)晶片。豎直分割式腔體設(shè)計(jì)，可以裝配各種源爐，實(shí)現(xiàn)不同材料分子束外延生長(zhǎng)。

系統(tǒng)特點(diǎn)：

● 用于研發(fā)的普適性MBE系統(tǒng)

● 應(yīng)用于III/V族， II/VI族材料外延生長(zhǎng)

● 適用于2-4英寸樣品

● 8個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的CF法蘭孔(根據(jù)要求可以拓展到10個(gè))

● 可以升級(jí)和選配實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)擴(kuò)展

● 原位生長(zhǎng)表征

● 易于使用和方便維護(hù)

可以根據(jù)所有客戶的要求，提供不同種類的蒸發(fā)源，包括K-cell、電子束蒸發(fā)源、熱裂解源、閥式裂解源、氣體裂解源等。可以使用石英晶振，反射式高能電子衍射儀(RHEED)或者四極桿質(zhì)譜儀實(shí)現(xiàn)樣品生長(zhǎng)的原位監(jiān)測(cè)。 EpiSoft MBE軟件可以精確控制所有的擋板，蒸發(fā)源源和樣品臺(tái)加熱器溫度。最 大程度確保了操作的重復(fù)性。

Octoplus 400的主要特點(diǎn)是極高的可靠性和普適性，以及其占地空間小。這些特點(diǎn)使得我們的系統(tǒng)非常適合于研發(fā)。

標(biāo)準(zhǔn)的Octoplus 400有8個(gè)4.5’’(CF63)法蘭口，可以根據(jù)需求拓展到10個(gè)法蘭口。快速進(jìn)樣室(Loading Chamber)配有高精度磁力傳輸樣品桿，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下進(jìn)行快速樣品傳輸。