一.激光干涉儀概述

SJ6000激光干涉儀產品采用高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。

SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有高精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。

二.激光干涉儀原理

中圖SJ6000激光干涉儀發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

三.激光干涉儀用途

1.激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具。檢定時可按照規定標準處理測量數據并打印出誤差曲線，為機床的修正提供可靠依據。

2.激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，在現場使用尤為方便。

3.激光干涉儀可方便地安裝在測長機上，取代原測長機的坐標系統，作為一般計量室中的長度基準。

4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標鏜、螺絲磨等精密機床及坐標測量機上作為坐標系統，使定位精度大為提高。

5.激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，儀器可按預定的間距自動完成檢測和刻劃工作。

6.激光干涉儀與圓分度器結合使用是一套高精度長度角度比相計，可作為機床傳動鏈，絲桿螺旋線等誤差的測量系統。

四.激光干涉儀維護說明

1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。 　

2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和混合液輕拭。

3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。

5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。

6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。

五.SJ6000激光干涉儀技術參數