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ZEP520A 電子束光刻膠
- 品牌:深圳科時達
- 型號: ZEP520A
- 產地:廣東 深圳
- 供應商報價:面議
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深圳市科時達電子科技有限公司
更新時間:2025-04-18 06:36:19
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銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業執照已審核
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產品特點
- ZEP520A是一種高性能正電子束電阻,具有高分辨率、高分辨率敏感性和耐干腐蝕性。適用于各種電子束工藝。
詳細介紹
- 商品詳情
超高分辨率電子束光刻膠:ZEP520A
特性
ZEP520A是一種有超高分辨率、耐干法蝕刻特性的非化學增幅(斷鏈型)負性電子束光刻膠。是目前世界上性能最hao的電子束光刻膠之一,其優良的性能在行業內受到廣泛的認可。
電子束光刻膠產品表
電子束光刻膠專用顯影液
旋涂曲線
超高分辨率
ZEP520A分辨率高達 L/S=25nm/25nm(FT=50nm)
顯影液:ZED-N50樣品測評:用苯甲醚將ZEP 520 A-7稀釋2.1倍