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HERZ 電鏡主動減震臺/隔振臺/防震臺AVI-600M

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產品特點

電鏡主動減震臺/隔振臺/防震臺一款緊湊型模塊化的主動隔振系統,有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。AVI系列可在寬頻率范圍內進行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優異的隔振性能

詳細介紹

電鏡主動減震臺/隔振臺/防震臺

品牌:HERZ

型號:AVI-600M

描述:AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統,有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。AVI系列可在寬頻率范圍內進行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優異的隔振性能。


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產品亮點: 

六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)

5-20ms響應時間                                                                   

低頻隔振性能優異,安裝和使用簡單

系統主動檢測輸入振動并動態消除

緊湊、模塊化的多功能設計

穩定性高,能無故障連續使用多年

無低頻共振、無空氣要求

 

應用范圍:

超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)

光刻工具

高精度計量工具

光譜儀器

升級選項:

可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。


減震臺-減振臺400x400 (2).jpg

 

技術參數:

型號:AVI-600M/LP

系統配置:獨立隔振裝置 & 控制裝置

主動隔振范圍:大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。

LEDs 指示輸出階段的過載情況。

單元尺寸(每個):288 x 720 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm

隔振單元重量: 26kg

負載能力:1200 kg (同等/低zhong心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗:通常27W

溫度范圍:5℃ - 40℃

相對濕度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內/室外使用:僅用于室內

 

隔振效果:

性能對比圖:SEM的研究人員在兩種獨特條件下進行成像: 不含隔振系統和包含AVI系列隔振臺。當使用AVI系列隔振臺搭載SEM時,所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。


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