桌面式主動隔震平臺/隔振臺

精密儀器設備、顯微鏡高性能隔振

ArisTT系列-桌面式主動隔振臺

ArisMD系列-模塊式主動隔振臺

昊量光電新推出AFM、STM、臺式掃描電鏡、數字顯微鏡，SEM/TEM等的主動隔振解決方案，采樣完全解耦的結構設計，有效隔離了來自地板的振動和由工具產生的振動，實現六自由度主動隔振，體積小質量輕負載能力強，易于集成到各類工作環境中，有效改善顯微鏡性能和圖像質量。桌面式主動隔震平臺/隔振臺

桌面式主動隔震平臺/隔振臺產品實圖：

桌面式主動隔震平臺/隔振臺透過率曲線：

桌面式主動隔震平臺/隔振臺主要特點：

六自由度

隔振頻率0.5Hz-100Hz

可變阻尼

內置人工智能特性

可通過軟件激活帶寬

遠程控制

內置實時頻譜診斷和分析工具

允許測試目標系統或設備在不同振動條件下的性能

調整不同的頻率和振幅

再現真實環境條件，驗證目標系統內部組件對振動的響應

內置的能力收集和分析數據

ARISTT（桌面式主動隔振臺）系列規格：（原子力顯微鏡，生物顯微鏡，半導體等）

實時分析工具：內置實時2通道示波器，實時2通道頻譜分析儀

實時性能調整：所有6個自由度的實時/遠程訪問自適應控制

工作電壓：AC 80-260V/50-60Hz

架構：MVIS多層隔振結構

ARISDD系列規格：（SEM，TEM，FIB，半導體等）

實時分析工具：內置實時2通道示波器，實時2通道頻譜分析儀

ARISTT系列應用案例：

ARISMD系列應用案例：