布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設計，可以提供無與倫比的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于4A。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年 Dektak 技術創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其行業(yè)領先地位。通過整合其行業(yè)領先產(chǎn)品，DektakXT實現(xiàn)了最高性能。

操作簡易，從研發(fā)到質量控制都有更好的過程控制。整合了技術突破到第十代 Dektak 臺階儀能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學、材料科學等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。

單拱門結構設計使 DektakXT 更堅固，從而將環(huán)境噪音的影響降至ZD。DektakXT 升級的"智能電子設備"可降低溫度變化的影響，并采用現(xiàn)代處理器，最大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測量 <10nm 臺階高度的更強大的系統(tǒng)。

布魯克的 Vision64 軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面，加入到 DektakXT 的創(chuàng)新設計。智能架構和可自定義自動化功能相結合，可實現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結果進行分析，還是應用自定義篩選器設置和計算，DektakXT 的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當前分析結果，同時顯示其他可能的分析工具。

DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針，同時消除換針中的任何潛在風險。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足任何應用需求。