產(chǎn)品概述

Lumina-200獨(dú)立式高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器。 Lumina系列為電子，光電，MEMS和許多其他應(yīng)用中的高分辨率，精確對(duì)準(zhǔn)，接觸和接近光刻提供了高質(zhì)量，可靠且經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。 它具有易于使用的界面，高精度的載物臺(tái)，高性能的光學(xué)元件和較小的占地面積。

主要特點(diǎn)

高分辨率光刻

高精度對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)

z先進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)光學(xué)

精確的間隙控制

用戶友好的PC控制

占地面積小

具有成本效益的設(shè)計(jì)

背面對(duì)齊可選

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體器件 *微機(jī)電系統(tǒng) *光電子學(xué) *高級(jí)包裝 *電力設(shè)備

技術(shù)參數(shù)

手冊(cè)X-Y-?

帶稱重傳感器的電動(dòng)Z

移動(dòng)范圍： X和Y：1英寸

?：10度

Z：0.25英寸

掩膜加載能力

5”口罩標(biāo)準(zhǔn)

其他尺寸可選

基板裝載能力

4”標(biāo)準(zhǔn)

其他尺寸可選

對(duì)準(zhǔn) 模式：接近、柔和、硬

對(duì)準(zhǔn)光學(xué)

分割欄 5倍物鏡，1到7倍變焦

2個(gè)獨(dú)立的手動(dòng)X，Y，Z顯微鏡移動(dòng) 精細(xì)粗調(diào)

通過CCD相機(jī)成像

曝光系統(tǒng)

紫外線：汞燈，帶有可選的G線或I線過濾器

紫外線燈功率：500瓦

紫外線均勻照射

電動(dòng)紫外線燈移動(dòng)

具有Microsoft Windows的基于PC的控制計(jì)算機(jī)

用戶友好的控制軟件 PC控制的CCD視頻

紫外線燈曝光由電腦控制

占地面積：31英寸乘44英寸（780毫米乘1110毫米）

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