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飛納電鏡 -- 從飛利浦到賽默飛,是最“老”的電鏡,也是最“新”的電鏡!(上篇)

來源:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司      分類:動態(tài) 2025-03-21 17:00:13 64閱讀次數(shù)
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為什么說是最“老”的電鏡?

這個故事要追溯到1939年 >>>


1939 年夏天,代爾夫特理工大學(xué)的 Le Poole 提出了制造電子顯微鏡的構(gòu)想,盡管當(dāng)時這一技術(shù)在生物學(xué)研究中的應(yīng)用尚存爭議。Le Poole 不畏挑戰(zhàn),于 1941 年成功研制出兩級電子顯微鏡,并拍攝了首張電子顯微照片。面對 40kV 加速電壓的限制,他與飛利浦物理實驗室合作,開發(fā)了 150kV 電子顯微鏡,于 1944 年春季成功研制,標(biāo)志著電子顯微鏡技術(shù)的一大飛躍。


Le Poole 的創(chuàng)新不僅限于提高電壓,還包括在物鏡與投影鏡頭間加入額外鏡頭,實現(xiàn) 6400 倍至 80,000 倍的連續(xù)放大,以及引入小孔鏡頭實現(xiàn)無需移動樣品的衍射模式切換。這些創(chuàng)新后來成為飛利浦商業(yè)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)特性,1949 年,飛利浦推出了第一臺商業(yè)化電鏡 EM100。


隨著技術(shù)的發(fā)展,飛利浦在 1954 年推出了以大尺寸物鏡減少球差、提升圖像質(zhì)量的 EM75 型透射電子顯微鏡。1966 年,飛利浦 EM300 實現(xiàn)了 2.5 埃的分辨率,首次推出六級透鏡系統(tǒng)。1972 年,飛利浦進(jìn)軍 SEM 市場,推出了高分辨率的 PSEM500 型號,并在 1997 年推出了能在常規(guī)及低加速電壓下提供清晰圖像的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。


1996 年,飛利浦電子光學(xué)公司的母公司 Philips Electronics N.V. 收購了 FEI 55% 的股份,并在 1997 年將 FEI 與飛利浦電子光學(xué)業(yè)務(wù)合并,形成了新的 FEI 公司。這一合并不僅讓飛利浦獲得了 ElectroScan 的 ESEM 技術(shù),也增強(qiáng)了其技術(shù)實力,F(xiàn)EI 隨后推出了一系列新產(chǎn)品,并在 FIB 市場的地位得到加強(qiáng)。


飛利浦與 FEI 的結(jié)合,不僅是技術(shù)的融合,更是歷史的傳承,共同推動了電子顯微鏡技術(shù)的發(fā)展,為全球科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了強(qiáng)大的工具。


 第一臺商業(yè)化電鏡 EM100


第一臺的誕生


2006 年,F(xiàn)EI 成立 Phenom World 公司,發(fā)布全球第一臺臺式掃描電子顯微鏡飛納(Phenom),放大倍數(shù) 10,000 倍,這也是市面上首次使用壽命長達(dá) 1500h、高亮度、低色差的 CeB6 晶體燈絲。傳統(tǒng)電鏡使用鎢燈絲,使用壽命僅約 100h 左右。


2012 年 3 月,Karel.Mast 教授帶領(lǐng)原飛利浦電鏡部門精英研發(fā)出世界首臺電鏡能譜一體機(jī),能譜探頭從此可以安全地待在電鏡外殼內(nèi)部;同時推出 3D 粗糙度測量等軟件;2013 年 4 月,Phenom World 優(yōu)化 CeB6 燈絲和內(nèi)部防震設(shè)計,將分辨率優(yōu)化到 17nm, 正式推出第三代產(chǎn)品,放大倍數(shù) 100,000 倍,與大型鎢燈絲電鏡分辨率接近,同年 11 月推出顆粒測量統(tǒng)計系統(tǒng);其后不久,Phenom World 推出了新產(chǎn)品 Phenom XL, 可容納樣品尺寸 100x100mm,可選配二次電子,支持原位拉伸/壓縮等測試,拓展功能媲美大型鎢燈絲電鏡;同時推出了孔徑測量統(tǒng)計系統(tǒng);2015 年,PhenomWorld 推出第 4 代產(chǎn)品,分辨率達(dá)到 14nm,放大倍數(shù) 13 萬倍。



2016 年,發(fā)布第 5 代產(chǎn)品,分辨率突破 10nm。同年 FEI 被賽默飛世爾科技以 42 億美元收購,2018 年,PhenomWorld 公司被賽默飛收購,從此電鏡產(chǎn)品線更名為 Thermo Scientific 品牌,但技術(shù)上仍繼承了 FEI 的創(chuàng)新成果。



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所以的機(jī)身 Logo,歷經(jīng)了 3 代變化。FEI-PhenomWorld-ThermoScientific,不過不管 Logo 怎么變化,都是我們。來看看你正在使用的,是哪個 Logo 吧。




香港理工大學(xué)的 Phenom Pro G1,你發(fā)現(xiàn)了嗎?機(jī)身 Logo 是 FEI,已經(jīng)服役 14 年,目前還在正常使用。FEI Logo 的用戶,都已經(jīng)使用 10 年以上啦。



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天津農(nóng)學(xué)院的 Phenom Pro(上圖),北京沃爾德金剛石工具股份有限公司的Phenom XL(下圖,100x100mm大樣品倉室版本),你發(fā)現(xiàn)了嗎?機(jī)身 Logo 位于底部中間位置,是 Phenom World 標(biāo)志。目前也分別服役 6 年和 8 年啦,天津農(nóng)學(xué)院還搭配了冷臺使用,可直接觀測含水樣品。





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現(xiàn)在,你應(yīng)該已經(jīng)明白了為何能被譽(yù)為最“老”的電鏡了吧。這里的“老”,可不是指年紀(jì)大、“行動”遲緩,而是指它那百年的技術(shù)傳承,悠久的歷史和成熟穩(wěn)定的技術(shù)。,全球 5000+ 用戶選擇,不僅僅是一個品牌,它是一種承諾,一種對卓越品質(zhì)的不懈追求。選擇飛納,就是選擇了一個歷經(jīng)時間考驗,卻又永遠(yuǎn)走在時代前沿的伙伴。


那么為什么說也是最“新”的電鏡呢?我們下篇繼續(xù)為您詳細(xì)講解。




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