
離子減薄儀
應(yīng)屬于離子束加工的范疇。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面、高能離子與樣品表面原子發(fā)生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子的逸出功時(shí),便飛離樣品,這樣就使樣品表面不斷失去原子——減薄。離子減薄過程必須在真空狀態(tài)下進(jìn)行,離子減薄技術(shù)將在地礦和骨科研究領(lǐng)域得到更廣范的應(yīng)用,從而帶動(dòng)透射顯微學(xué)在上術(shù)領(lǐng)域得到更大的發(fā)展。
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